四探針電阻率測試儀工作流程
發(fā)布時間： 2021-04-16 10:48:48 點擊： 2591
四探針電阻率測試儀工作流程
本文從的定義，工作原理，組成，
四探針電阻率測試儀是運用直線或方形四探針雙位測量。單晶硅物理測試方法國標； A.S.T.M 標準。
雙電測試法：
利用電流探針、電壓探針的變換，進行兩次電測量，對數(shù)據(jù)進行雙電測分析.
測試步驟：
1.接通電源，打開電源開關(guān).
2.液晶顯示界面選擇“方阻”并設置，探針形狀，探針間距，選擇測試電壓檔位，輸入樣品厚度.
3.將被測樣品放入測試平臺上，旋動探頭與樣品接觸.
4.儀器自動顯示出，方阻，電阻率及電導率數(shù)據(jù).
5.如配置有PC軟件系統(tǒng)時，所有上述步驟在軟件界面執(zhí)行即可.
優(yōu)點：
自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，提高精確度，
特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。
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